特許

J-GLOBAL ID：200903086017040119

温度不感性シリコン発振器及びそれから形成された精密電圧基準

発明者： ワインバーグ,マーク,エス. ,  ウォード,ポール,エー. ,  コーレペニス,アンソニー,エス.
出願人/特許権者： ザ チャールズ スターク ドレイパー ラボラトリー インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-536991
公開番号（公開出願番号）：特表2001-512645
出願日： 1998年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
要約：

【要約】水晶共振器と同等又はそれ以上の精度を有し、微小機械式シリコン・オン・ガラス工程で組み立てられる微細加工された熱不感性のシリコン共振器が提供される。一実施例では、このような共振器が音叉ジャイロスコープ[4]を使用して実現される。このシリコン共振器を使用した耐放射性の精密電圧基準(PVR)が可能になる。シリコン・オン・シリコン工程の発振器に比べて熱感度は減少され、水晶発振器に匹敵する熱感度が提供される。音叉ジャイロスコープ[4]に基づいた微小機械式デバイスを使用することにより、共振器はジャイロ駆動軸及び検知軸のいずれか一方または両方から製造される。その共振周波数が周波数標準と比較される発振器ループ[8]として製造された共振器は、基準電圧[Vref]としてバイアス電圧を与える。

請求項（抜粋）：

温度変化に対して固有の安定性を有する基準発振器であって、ガラス基板上に配置された微小機械式シリコン音叉ジャイロスコープを使用し、そして力電極によって移動し、また検知電極によって検知される基準質量を有する基準発振器において、 前記ジャイロスコープに近接し、前記力電極に電圧信号を与える電圧源と、 前記ジャイロスコープに近接し、そして基準質量運動信号を受信するために、またそれから抽出された基準周波数を与えるために前記検知電極と通信する検知電子回路とを備えることを特徴とする基準発振器。

IPC (4件)：

H03B 5/30 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H03L 1/02

FI (4件)：

H03B 5/30 F ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H03L 1/02

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平2-223818
  
• 角速度センサおよび角速度検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-191654   出願人：三菱電機株式会社
• 特開昭58-097903
  
• 特開平2-241189
  

審査官引用 (4件)

• 特開平2-223818
  
• 角速度センサおよび角速度検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-191654   出願人：三菱電機株式会社
• 特開昭58-097903
  
• 特開平2-241189