特許
J-GLOBAL ID：200903086021783290
位置決め装置及び該位置決め装置を備えた印刷装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
近島 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-087785
公開番号（公開出願番号）：特開平7-276170
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：
【要約】【目的】液晶表示素子のガラス基板上に配向膜等の薄膜を形成する印刷装置において、多数の基板のセットを一括して行い、かつ、基板の正確な位置決めを行う。【構成】複数の基板K,...がセットされたパレット2をステージ3の所定位置(位置決め部材30によって規制される位置)に載置する。すると、該パレット2に形成された貫通孔21,...内には、ステージ3側に支持されたピン31,...,32,...が侵入する。そして、これらのピン31,...,32,...を所定方向(x方向及びy方向)に移動させると、基板K,...はその方向に押圧され、パレット2と共に移動する。この場合、パレット2は位置決め部材30によってその移動が規制され、基板K,...は、移動が規制されたパレット2によって同じくその移動が規制され、ステージ3に対しての位置決めが正確に行われる。これらの基板K,...に薄膜を形成した後は、ピン31,...,32,...による押圧を解除して、基板K,...をパレットごと交換する。これにより、複数(図1では2つのみ図示)の基板K,...の交換を一度に行うことができる。
請求項（抜粋）：
被加工物を収納する被加工物収納手段を複数有するパレットと、該パレットの位置決め手段を有して該パレットを着脱自在に支持するステージと、を備え、前記位置決め手段により規制される位置に前記パレットを載置することにより、該パレットに収納された被加工物が所定の位置に保持される位置決め装置において、少なくともパレットの装着時において、前記被加工物の側縁に対向する位置に、かつ、移動自在に配置される押圧手段を備え、かつ、該押圧手段を駆動して前記被加工物収納手段内に収納された被加工物を前記位置決め手段側に押圧することにより、該被加工物を前記パレットと共に移動せしめて該被加工物の位置決めを行う、ことを特徴とする位置決め装置。
IPC (3件)：
B23Q 3/18
, H01L 21/50
, H01L 21/68
