特許
J-GLOBAL ID：200903086026918984
基板洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-065716
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248613
出願日： 1994年03月09日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：
【要約】【目的】 従来のスクラブ法における基板汚染および基板損傷を回避し、安定した洗浄能力を有する基板洗浄装置を提供すること。【構成】 本発明では、洗浄すべき基板を保持するための基板保持手段と、該基板保持手段に保持された前記基板を洗浄するための回転スクラブ材とを備えた基板洗浄装置において、前記スクラブ材を前記基板の表面に向かって駆動するための駆動手段と、前記スクラブ材が所定の位置に達したことを検知して、前記駆動手段による前記スクラブ材の駆動を停止させるためのセンサ手段と、前記スクラブ材に向かって冷却液を供給するための冷却液供給手段とを備えている。
請求項（抜粋）：
洗浄すべき基板を保持するための基板保持手段と、該基板保持手段に保持された前記基板を洗浄するための回転スクラブ材とを備えた基板洗浄装置において、前記スクラブ材を前記基板の表面に向かって駆動するための駆動手段と、前記スクラブ材が所定の位置に達したことを検知して、前記駆動手段による前記スクラブ材の駆動を停止させるためのセンサ手段と、前記スクラブ材に向かって冷却液を供給するための冷却液供給手段とを備えていることを特徴とする基板洗浄装置。
IPC (4件)：
G03F 1/08
, B08B 1/02
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304
