特許

J-GLOBAL ID：200903086029581352

光触針利用による表面測定方法および装置

発明者： 安田 享祐
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 菅 隆彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-098125
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307839
出願日： 1993年04月23日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】光触針装置を利用して被測定試料の測定対象表面の被測定点における垂直方向の表面粗さ情報のみならず各種の光学的特性をも同時に或いは個別に測定可能な光触針利用による表面測定方法および装置を提供する。【構成】被測定試料4の測定対象表面4aの被測定点4bに照射光Liを照射し、当該被測定点4bからの反射光Lrを、当該被測定試料4の測定対象表面4aから焦点距離Dだけ離れた位置に配置した対物凸レンズ3で集光して所定の角度に配設された三角プリズム5に入射させ、当該三角プリズム5からの出射光を出射面5bに対面した複数の光センサ6a,6bにより被測定点4b毎にそれぞれ独立並行して検出した後、当該複数の光センサ6a,6bにて検出されたそれぞれの光強度の和を、前記被測定点4bの反射率として検出したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被測定試料の測定対象表面の被測定点に照射光を照射し、当該被測定点からの反射光を、当該被測定試料の測定対象表面から焦点距離だけ離れた位置に配置した対物レンズを通して所定の角度に配設されたプリズムに入射させ、当該プリズムからの出射光を出射面に対面した複数の光強度検出手段により前記被測定点毎にそれぞれ独立並行して検出した後、当該複数の光強度検出手段にて検出されたそれぞれの光強度の和を、前記被測定点の反射率として検出したことを特徴とする光触針利用による表面測定方法。