特許
J-GLOBAL ID：200903086030527396
イオン注入装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-253245
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068226
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 アームの水平からの角度およびイオンビームのウェーハに対する注入角を考慮した釣り合いトルクをカウンタバランサから発生させることによって、スイングモータにかかる負荷変動をより小さくして、ホルダおよびウェーハの機械的走査をより高精度で行うことができるようにする。【解決手段】 アーム22の水平からの角度をα、イオンビーム2の注入角をβ、アーム22およびそれと共に旋回させられる物(即ちウェーハ6、ホルダ8、ツイストモータ24および真空シール部26)の総重量をW、その総重量の重心点Gからアーム22の旋回中心軸22aまでの距離をLとした場合、カウンタバランサ30aから、少なくともウェーハ6にイオン注入を行うアーム22の角度範囲内において、次式またはそれと実質的に等価の関係で表される釣り合いトルクFを発生させるようにした。F=L・Wcosβcosα
請求項（抜粋）：
イオンビームを一定方向に電気的に走査すると共に、アームを可逆転式のスイングモータで往復旋回させることによって、アームに取り付けたウェーハ保持用のホルダをウェーハと共にイオンビーム走査方向と実質的に直交する方向に機械的に走査する構成のイオン注入装置であって、前記アームの旋回中心軸に接続された圧縮空気式のアクチュエータおよびそれに圧縮空気を供給する圧縮空気源を有していて釣り合い力を発生させて前記スイングモータに加わる負荷トルクを軽減する圧縮空気式のカウンタバランサを備えており、しかもイオンビームを走査する面とホルダを走査する面との成す角が可変でありそれによってウェーハに対するイオンビームの注入角が可変であるイオン注入装置において、前記アームの水平からの角度をα、前記イオンビームの注入角をβ、前記アームおよびそれと共に旋回させられる物の総重量をW、この総重量の重心点から前記アームの旋回中心軸までの距離をLとした場合、前記カウンタバランサは、少なくともウェーハにイオン注入を行うアームの角度範囲内において、F=L・Wcosβcosαまたはこれと実質的に等価の関係で表される釣り合いトルクFを発生させるものであることを特徴とするイオン注入装置。
IPC (3件)：
H01L 21/265
, H01J 37/317
, H01L 21/68
H01L 21/265 603 D
, H01J 37/317 B
, H01L 21/68 N
5C034CC11
, 5F031CA02
, 5F031GA47
, 5F031JA31
, 5F031MA31
