特許
J-GLOBAL ID：200903086031678088
レーザ・ビーム走査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-101390
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100174
出願日： 1991年05月07日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ポリゴンミラーを用いた光走査装置において、基準ビームの位置を常に検出制御してこれと平行に移動する走査ビームの位置を正確に制御して精密な走査を可能にする。【構成】 レーザヘッド14からのレーザビームを2分割し、一方はA/O変調器24を通して変調した走査用とし、他方はビーム位置検出用の基準ビームとして、それぞれ単一モード光ファイバ20C,20bを通し、その出力端を圧電アクチュエータ30で支持し、レンズ34を介してポリゴンミラー36に投射する。基準ビームは走査方向に長く並んだ基準ビーム位置検出器42によりその位置を検出し、その信号を利用してビーム位置制御装置52、駆動器54を介して圧電アクチュエータ30を駆動してポリゴンミラー36へ入射されるレーザビームの位置を絶えず調節して、基準ビームと常に一定間隔で平行移動する走査ビームの位置を精密に制御する。
請求項（抜粋）：
走査ビームと基準ビームとを生成するための静止したレーザ光源手段と、前記走査ビームを被走査面へ伝達するためのビーム伝達手段と、前記基準ビームの位置を感知することによって前記走査ビームの位置を測定するためのビーム位置検出器手段と、前記基準ビーム及び前記走査ビームを前記レーザ光源手段から前記ビーム伝達手段へ伝達するためのオプテイカルファイバ手段とを具備するレーザ走査装置。
IPC (3件)：
G02B 26/10
, G06K 7/10
, H04N 1/04 104
