フッ素系ガス分解装置およびフッ素系ガス分解方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-127745
公開番号（公開出願番号）：特開2002-320823
出願日： 2001年04月25日
公開日（公表日）： 2002年11月05日
要約：

【要約】【課題】取り扱いが容易でフッ素系ガスを効率よく分解し、低コストでフッ素系ガスを除外できるフッ素系ガスの分解装置およびその分解方法を提供する。【解決手段】炭化珪素発熱体1はフッ素系ガス通過用配管10内に設置され,直接フッ素系ガスに曝されて使用される。そのため、効率良くフッ素系ガスを加熱分解することができる。また、炭化珪素発熱体1にはスリット5が設けられている。これにより、炭化珪素発熱体1とフッ素系ガスとの接触面積が増加し、熱を効率良くフッ素系ガスに伝えることができ、フッ素系ガスを分解する効率を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

フッ素系ガス通過用配管中に、通電により発熱する炭化珪素発熱体が設けられ、該炭化珪素発熱体が直接フッ素系ガスに曝されてフッ素系ガスが分解されることを特徴とするフッ素系ガス分解装置。

IPC (9件)：

B01D 53/70 , B01D 53/34 ZAB , B01D 53/68 , B01D 53/77 , C04B 35/565 , C04B 35/626 , C07B 35/06 , C07B 37/06 , C07C 19/08

FI (8件)：

C07B 35/06 , C07B 37/06 , C07C 19/08 , B01D 53/34 134 E , B01D 53/34 ZAB , B01D 53/34 134 D , C04B 35/56 101 Y , C04B 35/56 101 P

Fターム (20件)：

4D002AA22 , 4D002AA23 , 4D002AC10 , 4D002BA02 , 4D002BA05 , 4D002BA12 , 4D002DA35 , 4D002GA01 , 4D002GB03 , 4D002GB20 , 4G001BA22 , 4G001BB22 , 4G001BC13 , 4G001BD36 , 4G001BE33 , 4H006AA05 , 4H006AC13 , 4H006AC26 , 4H006BA32 , 4H006BA33

前のページに戻る