特許
J-GLOBAL ID：200903086033934685
ウェハ容器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-307766
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132391
出願日： 1992年10月21日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 軽量で取扱いの容易な半導体ウェハを保管又は搬送することのできるウェハ容器を提供する。【構成】 円板状の本体プレート3と、該本体プレート3上に載置してウェハの両端部を支持する多数の段を有するキャリア2と、該キャリア2をカバーする円筒状のキャップ5とからなることを特徴とするウェハ容器。
請求項（抜粋）：
円板状の本体プレートと、該本体プレート上に載置してウェハの両端部を支持する多数の段を有するキャリアと、該キャリアをカバーする円筒状のキャップとからなることを特徴とするウェハ容器。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/00
, B65D 85/38
