特許

J-GLOBAL ID：200903086038006743

ラブ波型弾性表面波デバイス

発明者： 神田 正
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 大塚 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-061731
公開番号（公開出願番号）：特開平10-247835
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムの圧電基板1上に形成されたIDT電極2によってラブ波型表面波を励起するように構成されたSAWデバイスの製造プロセスを容易にしてコストダウンを図り、IDT電極2の電気抵抗の増大による特性劣化を低減する。【解決手段】IDT電極2を2重層構造とし、下層21を電気抵抗の低いアルミニウムで形成し、上層22を金(Au)に代えて価格の安い卑金属のタンタル,タングステン又はパラジウムで形成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

回転Yカット-X伝搬LiNbO3 圧電基板の表面上にラブ波型弾性表面波を励振するようにすだれ状電極、またはすだれ状電極と反射器電極とが配設されたラブ波型弾性表面波デバイスにおいて、前記電極は上下に積層された2層構造を有し、該2層構造の下層として前記基板上に接して形成された第1層は所定の膜厚のアルミニウムで形成され、その上に積層された第2層は所定の膜厚のタンタル,タングステンまたはパラジウムのいずれかで形成されたことを特徴とするラブ波型弾性表面波デバイス。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ,  H03H 9/25

FI (2件)：

H03H 9/145 C ,  H03H 9/25 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 表面波デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-051440   出願人：株式会社村田製作所
• 弾性表面波共振子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-057231   出願人：国際電気株式会社, 清水洋