特許

J-GLOBAL ID：200903086041716166

気密ロック装置

発明者： 橋本 一
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-039892
公開番号（公開出願番号）：特開2000-237574
出願日： 1999年02月18日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 所定用途の真空チャンバに連設され、それと外部との間の物品搬送を仲立ちする気密ロック室を該真空チャンバに対し開放可能に気密に閉じうる気密ロック装置。【解決手段】 気密ロック室2の真空チャンバ1に連通する開口部23の周縁に沿って形成された弁座32と、それに対し圧接離反可能の弁体31と、その中央部に動力伝達機構35を介して接続されたピストンシリンダ装置33とを含み、動力伝達機構35は、凸球面を有する凸部材354と、その凸球面に摺動可能に面接触させられる凹球面を有する凹部材352とを含んでおり、凸部材354は凸球面をピストンロッド331側に向けて弁体31に接続されるとともに凹部材352は凹球面を弁体側に向けてピストンロッド331に接続されている、所定用途の真空チャンバ1と外部との間の物品搬送を仲立ちする気密ロック室2を真空チャンバ1に対し開放可能に気密に閉じうる気密ロック装置3。

請求項（抜粋）：

所定用途の真空チャンバに連設され、該真空チャンバと外部との間の物品搬送を仲立ちする気密ロック室を該真空チャンバに対し開放可能に気密に閉じることができる気密ロック装置であり、該気密ロック室の前記真空チャンバに連通する開口部の周縁に沿って形成された弁座と、該弁座に対し圧接離反可能の弁体と、前記弁体の中央部に動力伝達機構を介して接続された駆動装置とを含み、前記駆動装置は駆動軸を含み、該駆動軸は前記動力伝達機構の一部に接続されるとともに前記弁体を前記弁座に対し圧接離反させる方向に往復直線駆動でき、前記動力伝達機構は、凸球面を有する凸部材と、該凸部材の凸球面に摺動可能に面接触させられる凹球面を有する凹部材とを含んでおり、該凸部材がその凸球面を前記駆動軸側に向けて前記弁体に接続されるとともに該凹部材がその凹球面を該弁体側に向けて該駆動軸に接続されるか、又は該凸部材がその凸球面を前記弁体側に向けて前記駆動軸に接続されるとともに該凹部材がその凹球面を該駆動軸側に向けて該弁体に接続されていることを特徴とする気密ロック装置。

IPC (4件)：

B01J 3/02 ,  C23C 14/56 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B01J 3/02 N ,  C23C 14/56 C ,  C23F 4/00 Z ,  H01L 21/68 N

Fターム (16件)：

4K029JA01 ,  4K029KA01 ,  4K029KA05 ,  4K029KA09 ,  4K057DA02 ,  4K057DA20 ,  4K057DM38 ,  4K057DM40 ,  5F031HA07 ,  5F031HA13 ,  5F031HA30 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA31 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05