特許

J-GLOBAL ID：200903086041895486

マイクロミラー装置

発明者： 鈴木 賢治
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-041265
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230257
出願日： 1996年02月28日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 各マイクロミラーの間に形成された隙間に入射した光によるフレアが発生しないようにする。【解決手段】 シリコン基板4a上に、複数のマイクロミラー20a,20bが静電気力によって傾斜可能に配置されている。各マイクロミラー20a,20bの間には、隙間8が形成されている。この隙間8の下方にあるシリコン基板4aの一部には、斜面21が形成されている。隙間8から入射した照明光L1,L2は、各斜面21によってマイクロミラー20a,20bの裏面に向けて反射される。これらのマイクロミラー20a,20bとシリコン基板4aとの間で、照明光L1,L2が複数回反射され、減光・吸収される。

請求項（抜粋）：

傾斜が制御可能な複数のマイクロミラーを基板上に配列したマイクロミラー装置において、各マイクロミラー間の隙間に入射した光が、前記基板で反射されてから再び隙間を通って射出しないようにするための遮光手段を設けたことを特徴とするマイクロミラー装置。