特許
J-GLOBAL ID：200903086046500820
レ-ザ加工機のギャップ量検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-345493
公開番号（公開出願番号）：特開平6-170572
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】 小型で簡単な構成であり、正確なギャップ検出を可能にする。【構成】 レーザ光を被加工物10に照射して所定の加工を行うレーザ加工装置の加工ヘッド12を有する。加工ヘッド12とともに移動可能なセンサ取付部材30を設け、リング状の絶縁部材44の上面全周に補償用センサ電極52を形成し下面全周に被加工物10との間の静電容量を検知する測定用センサ電極50を形成したセンサ部材40を、センサ取付部材30に設ける。
請求項（抜粋）：
レーザ光を被加工物に照射して所定の加工を行うレーザ加工装置の加工ヘッドに設けられるレ-ザ加工機のギャップ量検出装置において、この加工ヘッドとともに移動可能なセンサ取付部材を設け、このセンサ取付部材に、リング状の絶縁部材の上面全周に補償用センサ電極が形成され下面全周に上記被加工物との間の静電容量を検知する測定用センサ電極が形成されたセンサ部材を設けて成ることを特徴とするレーザ加工機のギャップ量検出装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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