特許
J-GLOBAL ID：200903086047468385
ヒータ検査装置及びそれを搭載した半導体製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
油井 透
, 阿仁屋 節雄
, 清野 仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-322390
公開番号（公開出願番号）：特開2004-319953
出願日： 2003年09月16日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】 炉を加熱するヒータの劣化の程度を割り出す。【解決手段】 商用電源1に基づいて加熱されるヒータ7に流れる電流のレベルを検出する電流検出手段21Aと、ヒータ7に印加される電圧のレベルを検出する電圧検出手段20Aと、ヒータ7の温度を検出する温度検出手段22と、ヒータ7の製造時の抵抗を算出するための抵抗温度係数を記憶してあるテーブルメモリ14と、電圧検出手段20Aと電流検出手段21との各検出結果に基づいてヒータ7の検査時の抵抗を算出すると共に、温度検出手段22の検出結果とテーブルメモリ14に記憶してある抵抗温度係数とに基づいてヒータ7の基準時の抵抗を算出し、ヒータ7の検査時の抵抗とヒータ7の基準時の抵抗とに基づいてヒータ7の劣化の程度を割り出すCPU17Aとを備える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
交流電源に基づいて加熱されるヒータに電力要素を印加する印加手段と、
前記印加手段によって前記ヒータに電力要素を印加したときに当該ヒータに流れる電流を検出する電流検出手段と、
前記印加手段によって前記ヒータに電力要素を印加したときに当該ヒータに印加される電圧を検出する電圧検出手段と、
前記印加手段によって前記ヒータが加熱されているときの当該ヒータの温度を検出する温度検出手段と、
前記ヒータの基準時の抵抗を算出するための抵抗温度係数を記憶してあるメモリと、
前記電圧検出手段と前記電流検出手段との各検出結果に基づいて前記ヒータの検査時の抵抗を算出する第1算出手段と、
前記温度検出手段の検出結果と前記メモリに記憶してある抵抗温度係数とに基づいて前記ヒータの基準時の抵抗を算出する第2算出手段と、
前記第1算出手段によって算出されたヒータの検査時の抵抗と前記第2算出手段によって算出された前記ヒータの基準時の抵抗とに基づいて当該ヒータの劣化の程度を割り出す割出手段とを備えることを特徴とするヒータ検査装置。
IPC (3件)：
H01L21/324
, H01L21/205
, H05B3/00
H01L21/324 K
, H01L21/205
, H05B3/00 320Z
3K058AA84
, 3K058AA96
, 3K058CA03
, 3K058CA04
, 3K058CA69
, 3K058CA86
, 3K058CB24
, 3K058CF06
, 5F045BB20
, 5F045DP19
, 5F045DQ05
, 5F045EK06
, 5F045GB05
, 5F045GB15
