特許
J-GLOBAL ID：200903086048296936
圧電素子の分極装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-023562
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216427
出願日： 1993年01月19日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】分極液として用いるフッ素系不活性液の消費量を削減でき、作業能率が良く、温度コントロールの容易な圧電素子の分極装置を提供すること。【構成】この分極装置は取入室1と分極槽2と乾燥室3と取出室4とを備え、各室の間には開閉可能な扉が設けられる。分極槽2にはフッ素系不活性液よりなる分極液13が貯留され、乾燥室3では圧電素子Aに付着した分極液13を乾燥させるための乾燥手段が設けられる。取入室1および取出室4には回収手段が接続され、これら室に入った不活性液蒸気を回収し、大気へ漏れ出るのを防止する。
請求項（抜粋）：
分極処理前の圧電素子が導入される取入室と、取入室に隣接して設けられ、フッ素系不活性液よりなる分極液を貯留し、この分極液中で圧電素子に分極処理を行う分極槽と、分極槽に隣接して設けられ、分極処理後の圧電素子を乾燥させる乾燥室と、乾燥室に隣接して設けられ、乾燥後の圧電素子を外部に取り出すための取出室と、上記取入室および取出室に接続され、室内の蒸気を凝縮させて回収する回収手段とを備えたことを特徴とする圧電素子の分極装置。
IPC (3件)：
H01L 41/24
, H01L 21/304 ZAB
, H01L 21/304 361
