位置決めステージ装置およびこれを用いた露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阪本善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-022081
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209033
出願日： 1997年01月21日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】露光室の雰囲気が位置決めステージ装置の駆動部からリークする不純ガスによって汚染されるのを防ぐ。【解決手段】露光室1は、排気ライン13と、ヘリウムガスを供給する給気ライン14等によって高純度のヘリウムガスの減圧雰囲気に制御される。ウエハ保持盤4は、粗動アクチュエータであるエアーシリンダ12と微動アクチュエータであるリニアモータ11を有する駆動部によってY軸方向に移動される。エアーシリンダ12に供給される駆動媒体に、給気ライン14から供給されるヘリウムガスと同じものを用いることで、露光室1内の雰囲気の純度が変化するのを防ぐ。

請求項（抜粋）：

密封チャンバ内に配設された案内手段に沿って移動自在である移動ステージと、該移動ステージを移動させる駆動部と、前記密封チャンバを所定のガスの雰囲気に制御する雰囲気制御手段を有し、前記駆動部が、前記所定のガスと同じ成分の流体を駆動媒体とする流体圧シリンダを備えていることを特徴とする位置決めステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 9/00 , H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 516 F , G03F 9/00 H , H01L 21/68 K

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