特許
J-GLOBAL ID：200903086081339411
紫外線レーザー用合成石英ガラス光学部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武田 正彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-299997
公開番号（公開出願番号）：特開平5-058668
出願日： 1991年08月31日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】[目的] エキシマレーザーに代表される紫外線レーザーを光源とする光学系を構成する光学部材において、強い紫外線照射に対しても十分な安定性を有し、紫外線透過率の低下が少ない合成石英ガラス光学部材を提供する。[構成] 紫外線レーザー用合成石英ガラス光学部材であって、その合成石英ガラスが、100ppm以下のOH基及び200ppm以下の塩素を含有するものである。
請求項（抜粋）：
合成石英ガラスが、100ppm以下のOH基の含有量及び200ppm以下の塩素の含有量を有するものであることを特徴とする紫外線レーザー用合成石英ガラス光学部材。
IPC (2件)：
引用特許：
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