特許
J-GLOBAL ID：200903086088030785

走査型試料測定装置

発明者：
渡部 秀夫

渡部 秀夫 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019915
公開番号（公開出願番号）：特開平9-211333
出願日： 1996年02月06日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：
【要約】【課題】反射率の異なる部位が存在する試料について低反射率面における高利得設定により生じるS/Nの悪化の影響を軽減し、取得データの安定性を高め、常に高精度な測定を行うこと。【解決手段】走査型試料測定装置において、試料Sの測定対象範囲を反射率に応じて複数の小範囲に分割してこれら各小範囲に対応してそれぞれの反射率に応じた利得情報が記憶された利得情報記憶手段22と、各小範囲に対応してそれぞれの反射率に応じた積算情報が記憶された積算情報記憶手段25と、2次元走査手段5による走査動作に同期して対応する利得情報を読み出して利得を制御する利得制御手段20と、2次元走査手段5による走査動作に同期して対応する積算情報を読み出して検出信号を積算する積算制御手段24とを備える。
請求項（抜粋）：
試料に対し集束光を照射する対物光学系と、前記集束光と前記試料とを相対的に2次元方向へ移動走査する2次元走査手段と、前記試料の反射光又は透過光を受光して受光強度に応じた検出信号を出力する光検出手段と、この光検出手段から出力された検出信号の信号レベルを可変する可変利得型レベル可変手段とを備えた走査型試料測定装置において、試料の測定対象範囲を当該試料の反射率に応じて複数の小範囲に分割してこれら各小範囲に対応してそれぞれの反射率に応じた利得情報が記憶された利得情報記憶手段と、前記各小範囲に対応してそれぞれの反射率に応じた積算情報が記憶された積算情報記憶手段と、前記2次元走査手段による走査動作に同期して走査中の小範囲に対応する利得情報を前記利得情報記憶手段から読み出し、かつその利得情報に応じて前記可変利得型レベル可変手段の利得を制御する利得制御手段と、前記2次元走査手段による走査動作に同期して走査中の小範囲に対応する積算情報を前記積算情報記憶手段から読み出し、かつその積算情報に応じて前記可変利得型レベル可変手段からの出力信号を積算する積算制御手段とを具備したことを特徴とする走査型試料測定装置。
引用特許：
出願人引用 (8件)
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