特許
J-GLOBAL ID：200903086089652860
透光性導電酸化膜の改質方法とこれを用いた光起電力装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西野 卓嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-150422
公開番号（公開出願番号）：特開平6-140650
出願日： 1993年06月22日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】 良好な透過率を有すると共に、シート抵抗が小さい透光性導電酸化膜を提供することにある。【構成】 酸化錫等の透光性導電酸化膜に対して、レーザ等のエネルギービームをこの透光性導電酸化膜が照射することにより、この透光性導電酸化膜を低抵抗化させることにある。
請求項（抜粋）：
透光性導電酸化膜に対して、エネルギービームを該導電酸化膜に照射し、該膜中のキャリア濃度を高めることにより上記透光性導電酸化膜を低抵抗化せしめることを特徴とする透光性導電酸化膜の改質方法。
IPC (3件)：
H01L 31/04
, H01B 13/00 503
, H01L 21/268
