特許
J-GLOBAL ID：200903086090148050
ガラス原盤及び原盤露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川北 喜十郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-181341
公開番号（公開出願番号）：特開2000-011462
出願日： 1998年06月15日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 フォトレジストの多重露光を防止し、微細なパターンを高精度に且つ高解像度で形成することが可能なガラス原盤及び原盤露光装置を提供する。【解決手段】 原盤露光装置100は、レーザー光源1、光ヘッド27、ターンテーブル21及びフォトレジスト20が塗布されたガラス原盤19を有する。ガラス原盤19のガラス及びターンテーブル21を、レーザー光源1から射出する露光光を選択的に吸収する材料で構成する。光ヘッド27からフォトレジスト20に照射された露光光の一部は、フォトレジスト20を透過してガラス原盤19に入射する。ガラス原盤19に入射した光はガラス原盤19の内部とターンテーブル21の内部でその殆ど全てが吸収される。これにより露光光を照射したフォトレジスト部分だけを感光させることができる。
請求項（抜粋）：
原盤露光装置に用いられ且つ感光性材料が塗布されて露光光により所定のパターンで露光されるガラス原盤において、該ガラス原盤が、露光光を選択的に吸収する材料を少なくとも一部に含むことを特徴とするガラス原盤。
Fターム (4件)：
5D121BA01
, 5D121BB01
, 5D121BB21
, 5D121BB38
