特許
J-GLOBAL ID:200903086091058186

集積回路接着装置の接着プログラム誤りを減少するシステム及びその方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 稔 (外9名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-133849
公開番号(公開出願番号):特開2002-016099
出願日: 2001年05月01日
公開日(公表日): 2002年01月18日
要約:
【要約】【課題】 スレーブ集積回路のボンド・パッド上に接続ボンドを取り付けるために準備されたスレーブ接着器内の接着プログラム誤りを減少するためのコンピュータ化されたシステム及び方法を提供する。【解決手段】 第1に、マスター接着器上で、マスター集積回路からボンドx-y位置、整列参照x-y位置、及び整列参照イメージに関する入力データを収集して、そして参照イメージと接着位置との間の関係のネットワークを構築するためにこれらのデータを解析し、マスター・フアイル内にデータ及び関係を記憶する。第2に、スレーブ接着器上で、これらの情報の全てが自動的に回復されて、そしてスレーブ回路からの整列参照イメージに関する入力データとコンピュータにより比較される。第3に、見付けられたいかなる差異もスレーブ回路上の新しい接着位置を識別するためにコンピュータにより修正される。最後に、スレーブ接着器は計算された修正接着位置に基づいて接続ボンドを取付ける。
請求項(抜粋):
スレーブ対象の活動位置に作用するため準備されたスレーブ装置内の動作プログラム誤りを減少するためのコンピュータ化されたシステムであって、前記スレーブ対象と幾何学的又は経歴的に関係するマスター対象から、活動位置の幾何学的情報と参照位置のイメージとを含んだデータを収集することができるマスター装置に関連した第1入力データ生成器と、前記マスター対象上の活動位置の前記幾何学的情報と参照位置の前記イメージとの間の前記マスター装置に対する関係のネットワークを構築することができる前記マスター装置と関連付けられて前記第1入力データ生成器に結合された解析生成器と、動作マスター・プログラムとして関係の前記ネットワークと、前記幾何学的情報と、前記イメージとを記憶することができる前記解析生成器に結合されたマスター・フアイルと、前記動作マスター・プログラムを回復できる前記マスター・フアイルに結合した前記スレーブ装置に関連した回復器と、前記スレーブ対象上の参照位置から入力情報としてイメージを生成することができる前記スレーブ装置と関連付けられた第2入力データ生成器と、前記動作マスター・プログラムと前記スレーブ対象の参照位置と比較して、前記プログラムと前記位置との間に発見されるどんな差異も修正することができ、これにより前記スレーブ対象の前記活動位置上に作用するために前記スレーブ装置の前記動作プログラムが再計算される、前記回復器と前記第2入力データ生成器とに結合されて前記スレーブ装置と関連付けられた比較修正器と、を有するシステム。
Fターム (3件):
5F044DD01 ,  5F044DD05 ,  5F044DD13

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