特許
J-GLOBAL ID：200903086098558540
複数点の変位計を用いたバンプ形状検査装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-239333
公開番号（公開出願番号）：特開平8-105719
出願日： 1994年10月04日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、1つの検出部に複数個のレーザ変位計の投受光部を設けることにより、XYステージの走査回数を低減し検出時間を短縮し検査装置による検査時間の効率化を計ることである。【構成】 本発明の構成は、高さ方向の変位検出部とXYステージ機構からなり、XYステージの走査方向に直角に並ぶ測定ポイントで、かつその投受光部がXYステージの走査方向に平行に配置される複数個のレーザ変位計の投受光部を持つ高さ方向の変位検出部と、複数個のレーザ変位計を時系列に制御する検出制御機能を有するものである。
請求項（抜粋）：
高さ方向変位を検出する変位検出部と、該変位検出部と被検出部とを、変位検出方向と直角な方向に走査するXYステージ機構とを有し、かつ前記変位検出部に前記XYステージの走査と直角な方向にバンプ配置誤差量とほぼ等しいピッチで複数個以上の検出部を設けたことを特徴とするバンプ形状検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01C 3/06
, G12B 5/00
