特許

J-GLOBAL ID：200903086101024030

濃厚テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド水溶液

発明者： 見神 一郎 ,  野仲 徹
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-329746
公開番号（公開出願番号）：特開平10-171128
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】含有する界面活性剤が遊離しておらず、濡れ性、消泡効果が良好な現像液が希釈して得られる現像原液を開発すること。【解決手段】テトラメチルアンモニウムハイドロキサイドを5〜12重量%含有してなり、該テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド100重量部に対して下記式(I)【化1】(但し、R1及びR2は各々炭素数1〜5のアルキル基であり、好ましくはR1がイソブチル基でありR2がメチル基であり、EOはエチレンオキシド基であり、nとmの各平均値の合計は1〜5である。)で示されるアセチレンアルコール系界面活性剤を0.8〜5重量部含有してなる濃厚テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド水溶液。

請求項（抜粋）：

テトラメチルアンモニウムハイドロキサイドを5〜12重量%含有してなり、該テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド100重量部に対して下記式(I)【化1】(但し、R1及びR2は各々炭素数1〜5のアルキル基であり、EOはエチレンオキシド基であり、nとmの各平均値の合計は1〜5である。)で示されるアセチレンアルコール系界面活性剤を0.8〜5重量部含有してなる濃厚テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド水溶液。

IPC (4件)：

G03F 7/32 501 ,  C07C 43/14 ,  C07C211/62 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/32 501 ,  C07C 43/14 ,  C07C211/62 ,  H01L 21/30 569 E