特許

J-GLOBAL ID：200903086105538577

防振装置

発明者： 林 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-239013
公開番号（公開出願番号）：特開平10-089403
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】【課題】 高周波振動を高い応答速度で抑制し、オフセット成分を含むような低周波振動を小さい発熱量で抑制する。【解決手段】 露光装置本体を支持する定盤18と、床1との間に空圧式アクチュエータ10A,10Bを設け、それに並列にボイス・コイル・モータ方式のVCMアクチュエータ11A,11Dを設置する。加速度センサ17A,17Bの検出信号からフィルタを介して低周波信号及び高周波信号を抽出し、低周波信号を相殺するように空圧式アクチュエータ10A,10Bを駆動し、高周波信号を相殺するようにVCMアクチュエータ11A,11Bを駆動する。

請求項（抜粋）：

処理対象物が載置されるベース部材と、該ベース部材の所定の設置面に対する6自由度の振動を抑制する6軸の制振手段と、を備え、該6軸の制振手段はそれぞれ、オフセット成分を含む第1の周波数帯の振動を抑制する第1のアクチュエータと、前記第1の周波数帯より中心周波数が高い第2の周波数帯の振動を抑制する第2のアクチュエータとを有することを特徴とする防振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 F