特許
J-GLOBAL ID：200903086107344320

イオンビーム引出加速方法及び装置

発明者：
柏木 啓次

柏木 啓次 について

, 
岡村 昌宏

岡村 昌宏 について


出願人/特許権者：
独立行政法人 日本原子力研究開発機構

独立行政法人 日本原子力研究開発機構 について


代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-198996
公開番号（公開出願番号）：特開2009-037764
出願日： 2007年07月31日
公開日（公表日）： 2009年02月19日
要約：
【課題】イオン源から引き出したイオンビームがビーム加速電極による加速・集束領域に入射するまでの間に、空間電荷効果によって拡散(損失)することを軽減したイオンビーム引出加速方法及び装置の提供。【解決手段】イオン源3は、線形加速器4の容器4aに結合した接地電位の真空容器3a内に絶縁状態に設置した容器状の高電圧ターミナル3b内にプラズマ発生ターゲット3dを設置し、プラズマ発生ターゲット3dから発生した高電圧ターミナル3b内のプラズマを線形加速器4のビーム加速・集束空間4bまで輸送するための筒状電極3fを高電圧ターミナル3bに設けて、筒状電極3fの先端位置が線形加速器4のイオンビーム加速・集束空間4bを形成するビーム加速電極4cの開口端の位置に一致するように設置する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
イオン源の内部で発生させたプラズマからイオンビームを引き出して線形加速器に入射し、線形加速器内に入射されたイオンビームを該線形加速器のビーム加速電極が生成する加速電場によって加速するイオンビーム引出加速方法において、 接地電位の真空容器内に絶縁状態に設置した容器状の高電圧ターミナルから筒状電極を外側に伸ばし、その先端を前記ビーム加速電極の開口端の位置に一致、または開口内に進入するように設置することにより、前記高電圧ターミナル内に設置したプラズマ発生ターゲットにレーザー光を照射することによって発生したプラズマを前記ビーム加速電極の開口端または開口内までプラズマ状態を保ったまま導き、前記ビーム加速電極が生成するビーム加速・集束空間内に直接イオンビームを引き出すことを特徴とするイオンビーム引出加速方法。
IPC (4件)：
H05H 9/00 ,  H05H 1/24 ,  G21K 1/00 ,  H01J 37/317
FI (4件)：
H05H9/00 A ,  H05H1/24 ,  G21K1/00 A ,  H01J37/317 Z
Fターム (10件)：
2G085AA04 ,  2G085AA06 ,  2G085BA02 ,  2G085BA06 ,  2G085BA17 ,  2G085BB02 ,  2G085BD01 ,  2G085EA07 ,  2G085EA08 ,  5C034CC01
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • イオン加速装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-135357   出願人：理化学研究所
審査官引用 (3件)
  • イオン加速装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-135357   出願人：理化学研究所
  • FRIT-レーザーイオン源
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-317085   出願人：日本電子株式会社
  • 高周波四重極加速装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-119465   出願人：株式会社神戸製鋼所
引用文献：
審査官引用 (1件)
  • 直接プラズマ入射法による大強度イオンビーム加速と応用可能性

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