特許

J-GLOBAL ID：200903086107847798

絶縁破壊に抵抗力を有する静電チャック

発明者： アリク ドンデ ,  ハイマン ジェイ. レヴィンスタイン ,  ロバート ダブリュー. ウ ,  アンドレアス ヘゲダス ,  エドウィン シー. ウェルドン ,  シャモウイル シャモウイリアン ,  ジョン ティー. クリントン ,  シュリンダー エス. ベディ
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-363048
公開番号（公開出願番号）：特開平10-247683
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】破壊に抵抗力を有する静電チャックを提供する。【解決手段】破壊に抵抗力を有する静電チャック(20)は、少なくとも一つの電極(25)と電極を覆う複合絶縁体(30)とを備えている。複合絶縁体は、電極によって生じた静電力が加わった状態で基板(35)と形状一致して基板と保持面と間に収容された伝熱流体の漏れを低減できる共形保持面を有するマトリックス材料を含んでいる。繊維の層又は芳香族ポリアミド層等の硬質の破壊抵抗層が保持面(50)の下に配置されて、複合絶縁体の破壊に対する抵抗力を増加させるに充分な硬さを有している。

請求項（抜粋）：

プロセス環境中で基板を保持するための、破壊に抵抗力を有する静電チャックであって、前記静電チャックが電極を覆う複合絶縁体を備えており、前記複合絶縁体が、前記電極の上に配置されている少なくとも一つの繊維層を有するマトリックス材料を含んでおり、前記繊維層が前記複合絶縁体の破壊に対する抵抗力を増加させるに充分な硬さを有している静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D