無人搬送車異常処理制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-070631
公開番号（公開出願番号）：特開平11-263403
出願日： 1998年03月19日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】プロセス装置トラブルにより無人搬送車がインターロック不成立で取合い不可となった場合に、異常処理制御を行うことでその後の搬送を継続し、無人搬送車の高稼働率を維持して製品の生産工期のミニマム化を実現する。【解決手段】プロセス装置トラブルにより無人搬送車インターロック不成立で取合い不可となった場合に、ホストコンピュータへ該当装置のトラブルを通知して該当装置の状態データ書換え、無人搬送車の搬送を継続させ搬送中断カセットを自動保管棚に戻してから、もしくは直接他のプロセス装置へ振替え搬送させる異常処理のロジックで制御する。

請求項（抜粋）：

製造段階における中間製品を自動保管棚からプロセス装置に供給、またはプロセス装置から自動保管棚へ回収する無人搬送車を用いた工程内搬送システムにおいて、プロセス装置のトラブルにより無人搬送車がインターロック不成立で取合い不可となった場合に、ホストコンピュータへ該当装置のトラブルを通知して該当装置の状態データ書換え、該当装置への搬送禁止を行わせるとともに、無人搬送車に搬送を継続させ搬送中断の中間製品を自動保管棚に戻してから他のプロセス装置へ振替え搬送させる異常処理のロジックを有することを特徴とする無人搬送車異常処理制御方法。

IPC (6件)：

B65G 1/00 501 , B65G 1/137 , G05D 1/02 , H01L 21/02 , H01L 21/68 , B65G 43/08

FI (7件)：

B65G 1/00 501 C , B65G 1/137 A , G05D 1/02 P , G05D 1/02 R , H01L 21/02 Z , H01L 21/68 A , B65G 43/08 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平1-236312
特開昭62-241645
特開昭59-118561

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