光偏向器および光ビーム走査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-329201
公開番号（公開出願番号）：特開2007-199682
出願日： 2006年12月06日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

【課題】温度変化等の種々の要因による共振周波数の変動を一定に補正して共振スキャナの振幅を一定にすることにより、振幅、速度の安定化した光偏向器および光ビーム走査装置を提供すること。【解決手段】電気-機械変換素子を制御素子に用い、光偏向器の回転振動によって制御素子に発生する電荷に起因する電位差を制御することで、温度変化等の種々の要因による共振周波数の変動を一定に補正して共振スキャナの振幅を一定にすることができ、振幅、速度の安定化した光偏向器および光ビーム走査装置を提供することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光学素子を回転軸のまわりに回転振動させて光線を走査する光偏向器において、前記光学素子を有する振動体と、前記振動体の上に配置され、前記回転軸に対して垂直方向を長手方向とした矩形形状をした、前記振動体を変形させて振動させるための電気-機械変換素子からなる駆動素子と、前記振動体の上に配置され、前記回転軸に対して垂直方向を長手方向とした矩形形状をした、前記振動体の変形により電荷を発生する電気-機械変換素子からなる制御素子と、前記制御素子に発生した電荷に起因する電位差を制御する電位差制御素子とを備えたことを特徴とする光偏向器。

IPC (3件)：

G02B 26/10 , G02B 26/08 , H04N 1/113

FI (5件)：

G02B26/10 104Z , G02B26/10 C , G02B26/10 B , G02B26/08 E , H04N1/04 104Z

Fターム (27件)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC08 , 2H041AZ02 , 2H041AZ06 , 2H041AZ08 , 2H045AB06 , 2H045AB10 , 2H045AB13 , 2H045AB38 , 2H045AB44 , 2H045AB73 , 2H045BA13 , 2H045BA24 , 2H045CA72 , 2H045CA97 , 2H045DA02 , 5C072AA03 , 5C072BA12 , 5C072BA13 , 5C072DA04 , 5C072DA23 , 5C072HA14 , 5C072HB01 , 5C072HB11 , 5C072WA05 , 5C072XA05

引用特許：

出願人引用 (4件)

特公平6-52196号公報
特許第2711158号公報
光学系の圧電素子による振動制御機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-284694 出願人：日本電気エンジニアリング株式会社

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