特許
J-GLOBAL ID：200903086114660091
ガスバリヤー性透明電極フィルム
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-332002
公開番号（公開出願番号）：特開平6-179962
出願日： 1992年12月11日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【構成】 ポリエーテルスルフォンやポリエーテルエーテルケトン等の高分子フィルム基材に対して、少なくとも有機珪素化合物ガスと酸素を原料としたプラズマCVD法により作成した酸化珪素層と透明導電層とが適宜積層され、かつ、酸化珪素層の外側にシリコン樹脂層が積層されてなるガスバリヤー性透明電極フィルム。【効果】 水蒸気や酸素を避けなければならない液晶表示素子への応用に適した、透明性ならびに可撓性、耐摩耗性、高ガスバリヤー性を持つ透明電極フィルムが提供される。
請求項（抜粋）：
透明導電層と酸化珪素層とが、透明高分子フィルム基材に積層されて成る透明導電性フィルムの少なくとも片面にさらにシリコン樹脂層が積層されてなるガスバリヤー性透明電極フィルム。
IPC (4件)：
C23C 14/12
, B32B 7/02
, B32B 9/04
, C23C 16/30
