特許
J-GLOBAL ID：200903086116959850
振動台制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-207845
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051804
出願日： 1997年08月01日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】相互干渉力により生ずる加速度の歪みを低減する振動台制御装置を提供すること。【解決手段】複数のアクチュエータ(11〜1m)により振動台(1)の駆動制御を行なう振動台制御装置であり、前記各アクチュエータ(11〜1m)におけるシリンダ(3)の差圧力、前記振動台(1)の加速度、及び前記各アクチュエータ(11〜1m)の駆動信号から前記各シリンダ(3)の相互干渉力を補正するための補正信号を生成する手段(7)と、前記各シリンダ(3)の変位と参照入力、及び前記補正信号から前記駆動信号を生成する手段(7)と、を具備。
請求項（抜粋）：
複数のアクチュエータにより振動台の駆動制御を行なう振動台制御装置であり、前記各アクチュエータにおけるシリンダの差圧力、前記振動台の加速度、及び前記各アクチュエータの駆動信号から前記各シリンダの相互干渉力を補正するための補正信号を生成する手段と、前記各シリンダの変位と参照入力、及び前記補正信号から前記駆動信号を生成する手段と、を具備したことを特徴とする振動台制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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