特許
J-GLOBAL ID：200903086123758509
高さ測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-270298
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091220
出願日： 1999年09月24日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成で正確な高さ測定信号が得られ、正確に試料の高さ測定ができる高さ測定装置を提供すること。【解決手段】 バンプ5を有するウェハーの如き試料6上をレーザー光で走査し、試料表面からの反射光を受光し、この反射光の結像位置からの反射光量に応じた信号から高さ測定信号を求めて、試料6の面の高さ測定を行う高さ測定装置である。レーザ光の試料面上の走査位置からの反射光信号と試料面からの反射光信号とを減算する、異なる増幅率の減算器12,15と、同二つの反射光信号とを加算する、異なる増幅率の加算器13,16とを有する。前記結像位置からの反射光量に応じた信号の大きさに基づいて前記減算器12又は15、加算器13又は16のいずれかを選択する。
請求項（抜粋）：
凸状部を有する試料面上をレーザー光で走査し、前記試料表面からの反射光を受光し、この反射光の結像位置からの反射光量に応じた信号から高さ測定信号を求めて、前記試料面の高さ測定を行う高さ測定装置において、前記レーザ光の前記試料面上の走査位置からの反射光信号と前記試料面からの反射光信号とを減算する減算手段と、前記二つの反射光信号を加算する加算手段と、前記結像位置からの反射光量に応じた信号の大きさに基づいて前記減算手段及び前記加算手段の増幅率を選択する選択手段とを備えることを特徴とする高さ測定装置。
Fターム (18件)：
2F065AA24
, 2F065BB07
, 2F065CC26
, 2F065FF09
, 2F065GG04
, 2F065HH12
, 2F065HH14
, 2F065JJ08
, 2F065JJ16
, 2F065MM03
, 2F065MM26
, 2F065NN13
, 2F065NN17
, 2F065PP12
, 2F065QQ04
, 2F065QQ25
, 2F065QQ26
, 2F065QQ27
