特許

J-GLOBAL ID：200903086124926944

ガス流路に流量調整弁を備えたガスレーザ装置

発明者： 村上 孝文 ,  西尾 明彦
出願人/特許権者： ファナック株式会社
代理人 (6件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  廣瀬 繁樹 ,  水本 義光 ,  丹羽 匡孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-290716
公開番号（公開出願番号）：特開2009-117700
出願日： 2007年11月08日
公開日（公表日）： 2009年05月28日
要約：

【課題】冷却水が低温の場合にも、レーザガスを素早く所望の温度に近付けることができるレーザガス装置を提供する。【解決手段】ガス流路20には、第1熱交換器10a、第2熱交換器10bをそれぞれ迂回するガス迂回路25a、25bが設けられ、さらにガス迂回路上にガス流量調整弁40a、40bがそれぞれ設けられる。ガス迂回路25a、25bを経たガスは熱交換されていないので、流量調整弁40a、40bが開くと、その開き方に応じて、放電管3に入るガス温度は上昇する。制御部80は、ガス温度測定器41の情報に基づいて、放電管3に入るレーザガスが最適温度になるように、ガス流量調整弁40a、40bを開閉させる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

レーザガス中の光励起媒体を励起させるためのレーザ電源と、レーザガス中の光励起媒体によりレーザ光を発振する共振器と、レーザガスをガスレーザ装置内に密閉するガス流路と、該ガス流路内でレーザガスを循環させるための送風機と、前記ガス流路内のレーザガスを冷却するガス冷却装置とを備えたガスレーザ装置において、 前記ガス冷却装置を迂回するガス迂回路と、該ガス迂回路を流れるレーザガスの流量を調整するガス流量調整弁とを、前記ガス流路に設けたことを特徴とする、ガスレーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/03 ,  H01S 3/036

FI (2件)：

H01S3/03 Z ,  H01S3/03 J

Fターム (4件)：

5F071EE02 ,  5F071HH01 ,  5F071JJ05 ,  5F071JJ10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ガスレーザ発振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-080345   出願人：株式会社東芝
• 特開平4-012582
  

審査官引用 (1件)

• 特開平4-012582