特許
J-GLOBAL ID：200903086139715788
高倍率顕微鏡付き材料試験機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-113406
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297094
出願日： 1996年05月08日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 高倍率顕微鏡付き材料試験機において、試験片に荷重を負荷した状態を維持しつつ、油圧源などの振動の影響を除去して、高倍率で試験片を観察する。【解決手段】 油圧源11からの圧油をアクチュエータ1を駆動するサーボ弁10に供給して試験片Tに荷重を負荷する。油圧源11とサーボ弁10との間の管路にはアキュムレータ13が接続されており、サーボ弁10への圧油の供給中にアキュムレータ13が蓄圧される。試験片Tの観察時に、油圧源11の駆動を停止しても、アキュムレータ13よりサーボ弁10に圧が供給されるため、荷重を負荷した状態を維持でき、これにより振動によるぼけのない試験片Tの像を走査型電子顕微鏡7により観察することができる。
請求項（抜粋）：
試験片を負荷するアクチュエータと、該アクチュエータに圧油を供給する油圧源と、該油圧源から前記アクチュエータへ供給される圧油を制御して前記試験片に負荷される荷重を制御する制御弁と、前記試験片表面を観察するための高倍率顕微鏡とを備えた高倍率顕微鏡付き材料試験機において、前記油圧源から前記アクチュエータへの圧油の供給時に圧油を蓄圧し、圧油供給停止時に、前記制御弁を介して前記アクチュエータに圧油を供給するアキュムレータを備えてなることを特徴とする高倍率顕微鏡付き材料試験機。
IPC (4件)：
G01N 3/10
, G01B 15/06
, G01B 21/30
, G01N 37/00
G01N 3/10
, G01B 15/06
, G01B 21/30 Z
, G01N 37/00 A
