特許
J-GLOBAL ID：200903086143007089
バッチプロセスデータの解析装置およびそれを用いた異常検出/品質推定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-024983
公開番号（公開出願番号）：特開2009-187175
出願日： 2008年02月05日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：
【課題】バッチ同士が互いに紐付けられ、サンプリング周期が異なる、又は、異なる工程にまたがったデータであってもそれらを一まとめにして統一的に扱い、サンプリング周期が異なる変数同士や工程をまたがる変数同士の相関を的確に調べることが可能なデータ解析装置を提供する。【解決手段】バッチプロセスデータ1や品質データ4はデータ格納手段3からモデル作成手段10に入力される。入力されたバッチプロセスデータ1や品質データ4は、データ入力手段5を経てデータ解析手段6に入力される。データ解析手段6においてはマルチウェイ多変量解析手法の適用によりモデル化を行う。データ判定/予測手段9では、モデル格納手段8に格納された「モデル」(係数行列)と、データ収集手段2でオンラインによりデータ収集されたバッチプロセスデータ1とに基づいて演算を実施し、実施した演算結果に基づいてアラームや予測値を出力し、異常検出または品質推定を行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
各バッチに関するサンプリング周期の異なる時系列データを、バッチ単位でまとめてプロセスデータのグループとして扱うバッチプロセスデータの解析装置であって、
前記グループのそれぞれに対してデータアラインメント処理を行った後、各グループから、各バッチに紐付けされたバッチデータを抽出するバッチデータ抽出手段と、
該バッチデータ抽出手段により抽出されたバッチデータから、各グループについてマルチウェイ手法により1次元化し、これをすべてのグループから抽出されたデータに対して行うグループデータ1次元化手段と、
該グループデータ1次元化手段によりすべてのグループについて1次元化を行った後、該すべてのグループの1次元化されたこれらのデータを結合して全体として1次元データの配列とする全体1次元データ配列手段と、
該全体1次元データ配列手段により得られた各バッチについての1次元データの各要素を「変数」,1次元データ(ベクトル)を1つの「サンプル」とする「変数」×「サンプル」の2次元化データを得るデータ2次元化手段と、
該データ2次元化手段により得られた2次元データに対して多変量解析手法を適用して、解析処理を実行する多変量解析処理手段と、
を備えることを特徴とするバッチプロセスデータの解析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G05B23/02 302R
, G05B19/418 Z
3C100AA56
, 3C100AA62
, 3C100BB27
, 3C100EE14
, 5H223AA01
, 5H223BB01
, 5H223CC03
, 5H223DD07
, 5H223DD09
, 5H223EE06
, 5H223EE11
, 5H223FF05
