特許

J-GLOBAL ID：200903086152360689

基板処理装置

発明者： 三宅 孝志 ,  小路丸 友則 ,  安井 研二 ,  奥田 次郎 ,  安福 孝次
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-114076
公開番号（公開出願番号）：特開2004-319880
出願日： 2003年04月18日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】処理槽内における基板の上方への移動を規制することにより、処理中における基板の浮きを防止して、基板の位置ズレ等を防止することができる。【解決手段】基板Wの収容・搬出の際には電磁石43が移動部材39を許容位置になるように磁界を切り換え、基板Wを処理する際には電磁石43が移動部材39を規制位置になるように磁界を切り換える。このように電磁石43により磁界の極性を切り換えるだけで、基板Wの移動を規制することができるので、モータ等の他の複雑な駆動機構を設ける必要がなく、気泡に起因する基板Wの浮きを防止でき、発塵を防止しつつ基板Wの位置ズレ等を防止できる。したがって、処理中に基板Wに対して気泡を供給することで処理を施す基板処理装置において適切に処理を施すことができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

処理液を貯留するための処理槽と、前記処理槽内で基板を起立姿勢で支持する支持アームとを備え、前記処理槽内の基板に所定の処理を施す基板処理装置において、 前記処理槽内に付設され、基板の通過を許容する許容位置と、基板に当接して基板の移動を規制する規制位置とにわたって移動可能な移動部材と、 前記移動部材に付設された永久磁石と、 前記処理槽に付設され、前記永久磁石に対して反発または吸引する磁界の極性を自在に切り換え可能であるとともに、前記処理槽に対する基板の収容・搬出の際には前記移動部材を許容位置になるように磁界を切り換え、前記処理槽内で基板を処理する際には前記移動部材を規制位置になるように磁界を切り換える磁界切換手段とを備えていることを特徴とする基板処理装置。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  B08B3/04 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304

FI (5件)：

H01L21/68 N ,  B08B3/04 Z ,  H01L21/304 642A ,  H01L21/304 648Z ,  H01L21/30 572B

Fターム (22件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB08 ,  3B201AB44 ,  3B201AB48 ,  3B201BB04 ,  3B201BB82 ,  3B201BB96 ,  3B201BB98 ,  3B201CB01 ,  3B201CD22 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031FA12 ,  5F031FA18 ,  5F031HA42 ,  5F031HA48 ,  5F031HA73 ,  5F031MA23 ,  5F046MA05 ,  5F046MA10