特許
J-GLOBAL ID：200903086155418491
圧電/電歪デバイスおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-307846
公開番号（公開出願番号）：特開2001-169572
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】 可動部を大きく作動させることが可能であって、動作上、有害な振動の影響を受け難く、機械的強度、ハンドリング性、耐衝撃性、耐湿性に優れた変位素子、可動部の振動を精度良く検出することができるセンサ素子の提供。【解決手段】 圧電/電歪素子の変位により駆動する駆動部3と、駆動部3の駆動に基づいて作動する可動部4と、駆動部3および可動部4を支持するための固定部5とを備えた圧電/電歪デバイス1において、前記固定部と前記可動部とが当該駆動部を介して結合されており、かつ、当該駆動部の内壁と可動部の内壁と固定部の内壁により孔部が形成されており、少なくとも1の薄板6の表面に形成された膜状の圧電/電歪素子2とからなる駆動部3を有し、駆動部3によって固定部5と可動部4とが結合されている圧電/電歪デバイス1により達成。
請求項（抜粋）：
圧電/電歪素子の変位により駆動する駆動部と、当該駆動部の駆動に基づいて作動する可動部と、前記駆動部および可動部を支持するための固定部とを備えた圧電/電歪デバイスにおいて、当該駆動部は相対向する1対の薄板であって、当該薄板のうち少なくとも1の薄板の外表面に形成された膜状の圧電/電歪素子とからなり、前記固定部と前記可動部とが当該駆動部を介して結合されており、かつ、当該駆動部の内壁と可動部の内壁と固定部の内壁により孔部が形成されており、圧電/電歪デバイスの厚みaと当該圧電/電歪デバイスの幅bとの比a/bが0.5〜20であることを特徴とする圧電/電歪デバイス。
IPC (3件)：
H02N 2/00
, G02B 26/02
, H01L 41/09
H02N 2/00 B
, G02B 26/02 E
, H01L 41/08 C
2H041AA04
, 2H041AB01
, 2H041AB03
, 2H041AC08
, 2H041AZ01
, 2H041AZ02
, 2H041AZ06
, 2H041AZ08
