特許
J-GLOBAL ID：200903086158501683
光スイッチ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-212336
公開番号（公開出願番号）：特開2001-042233
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：
【要約】【課題】 反射或は通過せしめることにより光をオン、オフするミラーを載置取り付けた極めて柔軟な構造の可動板を吸着して外部振動の影響を蒙らない光スイッチを提供する。【解決手段】 下側電極を構成する半導体シリコン基板1、フレクチュア部およびアンカー部22を介して半導体シリコン基板1に取り付け結合される可動電極板2、可動電極板2の上面に直立形成されるマイクロミラー4、可動電極板2の上側に位置して半導体シリコン基板1に取り付け結合される上側電極3、可動電極板2を基準として上側電極3および半導体シリコン基板1に極性転換スイッチを介して接続される駆動電源5より成る光スイッチ。
請求項（抜粋）：
下側電極を構成する半導体シリコン基板、フレクチュア部およびアンカー部を介して半導体シリコン基板に取り付け結合される可動電極板、可動電極板の上面に直立形成されるマイクロミラー、可動電極板の上側に位置して半導体シリコン基板に取り付け結合される上側電極、可動電極板を基準として上側電極および半導体シリコン基板に極性転換スイッチを介して切り替え接続される駆動電源より成ることを特徴とする光スイッチ。
Fターム (4件)：
2H041AA04
, 2H041AB14
, 2H041AC04
, 2H041AZ02
