特許
J-GLOBAL ID:200903086161666731

真空ポンプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 根本 進
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-335606
公開番号(公開出願番号):特開平6-159273
出願日: 1992年11月19日
公開日(公表日): 1994年06月07日
要約:
【要約】【構成】 吸気口25と排気口26とに対向するロータ2、3の外側面と、その外側面に対向するハウジング20の内側面との間の軸方向隙間が、ロータ2、3の径方向外方側で径方向内方側よりも大きく設定されるように、その内側面に段差30、31が形成される。その段差30、31はロータ2、3の本体部4、5の外周面4a、5aよりも径方向外方に位置する。【効果】真空性能を向上でき、コストを低減できる。
請求項(抜粋):
吸気側ロータと、排気側ロータと、両ロータを覆うハウジングとを備え、各ロータは、円周方向に沿う外周面を有する本体部と、この本体部から径方向外方に突出する歯部とを有し、そのハウジングに本体部の円周方向に沿う外周面よりも径方向内方に位置する吸気口と排気口とが形成され、両ロータの回転により吸気口からハウジング内に吸入されるガスを圧縮して排気口から排出する真空ポンプにおいて、その吸気口と排気口の少なくとも一方に対向するロータの外側面とハウジングの内側面との間の軸方向隙間が、ロータの径方向外方側で径方向内方側よりも大きく設定されるように、そのロータの外側面とハウジングの内側面の少なくとも一方に段差が形成され、その段差は本体部の円周方向に沿う外周面と径方向に関し同一位置あるいは径方向外方に位置する真空ポンプ。
IPC (3件):
F04C 18/18 ,  F04C 23/00 ,  F04C 25/02

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