プローブ構造

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-148551
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337577
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】プローブ針を狭ピッチに配置しつつ高周波信号に対応し得るプローブ検査装置用のプローブ構造を提供すること。【解決手段】プローブ針11は内部導体20及び外部導体40を含む同軸構造を有する。プローブ針11は案内板70の孔75に所定間隔にして受容され、孔75内で摺動可能とされる。孔75の内面には配線77の延長として形成される導電性面76が形成される。また孔75内で外部導体40の外側に金属スリーブ60が固定される。外部導体40は金属スリーブ60、導電性面76、及び配線77により接触端12に近い位置で接地又は所定の電位とされ、よって良好な高周波特性が保証される。

請求項（抜粋）：

内部導体及び外部導体を含む同軸型とされ、前記内部導体が被検査体となる装置の接続部に当接する接触端を含む複数のプローブ針と、該複数のプローブ針の各々を該接触端近傍で摺動可能に受容する複数の孔が所定間隔に設けられる案内板とを有するプローブ構造において、前記複数のプローブ針の各々は前記接触端近傍まで同軸構造を有するよう形成され、前記接触端近傍で前記外部導体の外側に金属スリーブが前記外部導体に電気的に導通されるよう固定され、前記案内板は、前記孔の各々の内面に形成される前記孔に受容される前記複数のプローブ針の一つの前記金属スリーブに電気的に接触する導電性面と、該導電性面を互いに導通させるコモン接地接続手段とを有することを特徴とするプローブ構造。

IPC (4件)：

G01R 1/073 , G01R 1/067 , G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 1/073 D , G01R 1/067 J , G01R 31/26 J , H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-086565
特開昭64-007632
特開平4-086565

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