特許
J-GLOBAL ID：200903086173804528
表面欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小塩 豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-344054
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184713
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 被検査面が複雑な曲面である場合、装置の制御が複雑になり、表面欠陥を自動的に且つ精度良く検出することが難しいという問題があった。【解決手段】 被検査体であるボディ5の被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段1と、ボディ5を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置であるCCDカメラ3が取り付けられた撮像装置固定手段2と、CCDカメラ3により得られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出しその結果を出力する検査処理手段4を備え、照明手段1および撮像装置固定手段2の内側にボディ5を通過させて被検査面の検査を行う表面欠陥検査装置。
請求項（抜粋）：
被検査体の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出しその結果を出力する検査処理手段を備え、照明手段および撮像装置固定手段の内側に被検査体を通過させて被検査面の検査を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01B 11/30
, B05C 11/00
, G01N 21/84
, G01N 21/88
G01B 11/30 A
, B05C 11/00
, G01N 21/84 E
, G01N 21/88 Z
