特許

J-GLOBAL ID：200903086175893757

倣い測定制御方法

発明者： 杉田 耕造 ,  菊池 直也
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-334895
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178646
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【目的】 倣い測定の際、プローブが被測定物から離れたりプローブを押し込み過ぎても、自動で倣い経路に復帰して、測定効率の低下を防止する。【構成】 三次元測定機に倣いプローブを装着して、倣いプローブに取り付けられたスタイラスの先端部が常に被測定物の表面と接触する状態を保ちつつ、所定速度で移動させ、一定時間間隔で座標値を測定し、常に最新のものに更新される一定個数の座標値を記憶しておき、スタイラスのプローブに対する押し込み量が許容範囲を越えたときには、記憶された一定個数の座標値までさかのぼってプローブを移動させ、その後、前回より遅い速度によって倣い測定を再開する。

請求項（抜粋）：

プローブに対して変位可能に取り付けられたスタイラスの先端部が常に被測定物の表面と接触する状態を保ちつつ、予めプログラムされた方向へ前記プローブを所定速度で移動させ、一定時間間隔で前記スタイラス先端の座標値を測定し記録する三次元測定機による倣い測定において、常に最新のものに更新される一定個数の座標値を記憶しておき、途中でプローブの駆動を被測定物の形状に追従させられなくなったときには、前記記憶された一定個数の座標値までさかのぼってプローブを移動させた後、前記所定速度よりも遅い速度によって倣い測定を再開することを特徴とする倣い測定制御方法。