特許

J-GLOBAL ID：200903086178949753

積層型圧電アクチユエータ

発明者： 大橋 淳一
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-269074
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082853
出願日： 1991年09月19日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】【目的】 積層型圧電アクチュエータの内部電極層の構造を改善して、電気的絶縁特性を向上させて、平均故障時間を改善する。【構成】 圧電的に活性なセラミックス層1と内部電極層2が交互に積層され、該内部電極層2が一層置きに互いに対向電極を構成するよう外部電極4に接続された構造の角柱状の焼結体より成る積層型圧電アクチュエータにおいて、内部電極層2の構造が外部電極に接続されない側の両端部を水分に触れたときセラミックス層の側面に溶出しない金属で形成した構造の複合型内部電極層10を用いることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。【効果】 電気的絶縁特性のよい平均故障時間の長い信頼性の高い経済的積層型圧電アクチュエータが得られる。

請求項（抜粋）：

圧電セラミックス層と内部電極層が交互に積層されてなる角柱状の積層焼結体の前記内部電極層が一層毎に対向電極を構成するよう一対の外部電極に接続され、該外部電極を前記積層焼結体の対向する側面に設けて成る積層型圧電アクチュエータにおいて、前記内部電極層の構造を、内部電極層の外部電極に接続していない面側の両端部を積層体の焼結時に両側の圧電セラミックス層の特性を劣化させることなく強固に付着し、かつ電気抵抗が低く、更に水分に触れて圧電セラミックス層の表面に溶出して絶縁を低下させない金属で形成した内部電極部と、その他の中央部分を通常使用するセラミックス層内部に拡散しにくくセラミックス層の特性劣化させることなく強固に付着し、かつ電気抵抗の低い金属で形成した内部電極部を、電気的に接続した構造の複合内部電極層とすることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。