特許
J-GLOBAL ID:200903086187533101
目視アライメントマークおよびアライメント方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 敏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-102946
公開番号(公開出願番号):特開平5-299317
出願日: 1992年04月22日
公開日(公表日): 1993年11月12日
要約:
【要約】【目的】 目視でマスクをマニュアル操作して、ターゲットに合わせ込むアライメントマークおよびアライメント方法において、1回の操作で全方向的に合わせ込みができるようにするものである。【構成】 同心円形のパターンを有するアライメントマーク6および7をそれぞれマスク8およびターゲット9に設け、このマスク8およびターゲット9をX,Y方向に移動させて合わせ込みするものである。
請求項(抜粋):
目視でマスクをマニュアル操作して、ターゲットに合わせ込むアライメントマークにおいて、同心円形のパターンを有するアライメントマークをマスタおよびターゲットに設けたことを特徴とする目視アライメントマーク。
IPC (3件):
H01L 21/027
, B41M 5/00
, H01L 21/68
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