特許
J-GLOBAL ID：200903086187533101
目視アライメントマークおよびアライメント方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-102946
公開番号（公開出願番号）：特開平5-299317
出願日： 1992年04月22日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 目視でマスクをマニュアル操作して、ターゲットに合わせ込むアライメントマークおよびアライメント方法において、1回の操作で全方向的に合わせ込みができるようにするものである。【構成】 同心円形のパターンを有するアライメントマーク6および7をそれぞれマスク8およびターゲット9に設け、このマスク8およびターゲット9をX,Y方向に移動させて合わせ込みするものである。
請求項（抜粋）：
目視でマスクをマニュアル操作して、ターゲットに合わせ込むアライメントマークにおいて、同心円形のパターンを有するアライメントマークをマスタおよびターゲットに設けたことを特徴とする目視アライメントマーク。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B41M 5/00
, H01L 21/68
