特許

J-GLOBAL ID：200903086189303081

ウエハ加工装置

発明者： 森本 俊之
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055024
公開番号（公開出願番号）：特開平6-246609
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年09月06日
要約：

【要約】【目的】 吸着テ-ブルの下面にウエハを吸着し回転させながら、回転砥石に接触させ、ウエハの上下の周縁部を削る装置において、剛体である吸着テ-ブルとウエハの間に異物を挟み込むと異物によりウエハが傷つくことがある。これを防止すること。【構成】 吸着テ-ブルの下面に弾性体を取り付ける。異物を挟み込んだとき弾性体に異物が吸収されるのでウエハが傷つかない。弾性体の歪みにより位置が決まらなくなるのでセンサでウエハの軸方向位置を監視し位置制御をする。

請求項（抜粋）：

回転しうる軸と円盤状の部分を有する吸着テ-ブルの下面にウエハを吸着し、凹彎曲面を有する回転砥石に接触させ、軸周りに吸着テ-ブルを回転させながらウエハの上下周縁部の面取り加工を行う装置において、吸着テ-ブルの下面に弾性体を固着し、弾性体を介してウエハを吸着テ-ブルに吸着し、ウエハの軸方向の位置はセンサで監視して位置制御することを特徴とするウエハ加工装置。