特許
J-GLOBAL ID：200903086190668867
加速度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-368074
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193677
出願日： 1998年12月24日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】 温度抵抗素子の熱平衡の変化を利用することにより、比較的単純な構成で物体の加速度を検出する加速度センサの提供。【解決手段】 流体が封入されたパッケージ2内部の点対称な形状(本実施形態では正方形)の一平面P上にセンサ素子1を配設すると共に、発熱用ヒータ抵抗Rhを発熱させることによって生じる流体の対流方向の変化を、上流側温度検出抵抗Rtuと下流側温度検出抵抗Rtdとの熱平衡状態の変化として検出する。これにより、センサ素子1が受ける加速度のうち、2つの測温抵抗素子の並設方向に対して直角方向、即ちセンサ素子1上の3つの抵抗の長手方向と直角な方向への加速度成分を検出する。
請求項（抜粋）：
同一平面上に並設された2つの測温抵抗素子と、それら測温抵抗素子の間であって該2つの測温抵抗素子と平行に配設された発熱抵抗素子とを有する熱平衡検出素子を、流体が充填された容器内部の点対称な形状の一平面上に、その平面の中心と該発熱抵抗素子の中央部分とが一致する所定位置に配設し、該発熱抵抗素子の発熱により生じる該2つの測温抵抗素子の熱平衡状態の変化に基づいて、該点対称な形状の一平面に平行であって該3つの抵抗素子の長手方向に対して直角方向への加速度を検出することを特徴とする加速度センサ。
IPC (4件)：
G01P 15/03
, G01C 19/00
, G01P 9/00
, G01P 15/00
G01P 15/03 B
, G01C 19/00 A
, G01P 9/00 A
, G01P 15/00 K
