インクジェット記録ヘッドの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丹羽宏之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-160994
公開番号（公開出願番号）：特開平9-011478
出願日： 1995年06月27日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：

【要約】【目的】インクジェット記録装置のサイドシュータ型インクジェット記録ヘッドにおいて、基板1へのインク供給口4形成過程においても、切削屑などのゴミ等が発生してノズル部が目詰まりを生じ、インクの吐出不良を生ずる等の原因を解消するこの種の記録ヘッドの製造方法を提供する。【構成】このため、インク吐出エネルギー発生素子が形成された基板1上に、少なくとも、(1)インク供給口4を形成する工程と、この供給口4の壁部に保護膜層3を形成する工程とを含み、前記保護膜層が前記インク吐出エネルギー発生素子上の保護膜層を兼ねるようにした製造方法を採用した。

請求項（抜粋）：

インク吐出エネルギー発生素子が形成された基体上に、少なくとも(1)インク供給のための貫通口を形成する工程と、(2)前記貫通口壁部に保護膜層を形成する工程とを含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

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