特許

J-GLOBAL ID：200903086195755474

重ね合わせ検査方法及び装置

発明者： 千徳 孝一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-277496
公開番号（公開出願番号）：特開2004-119477
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】複数の露光レイヤー間の露光状態の相対位置ずれ量を重ね合わせ検査マークを用いて計測する重ね合わせ検査装置において、WISの影響が少ない重ね合わせ検査方法、及び装置を達成する。【解決手段】重ね合わせ検査マークに対して計測を行う際、事前に複数の測定パラメータを用いて計測を行う。この時測定パラメータとは、重ね合わせ検査マークから得られる検出信号に対する信号処理方法、重ね合わせ検査装置の光学系パラメータ(光源の波長、照明条件)、重ね合わせ検査マークの線幅等である。これらの異なるパラメータを用いて事前に重ね合わせ検査を行ない各パラメータ毎に計測結果を求め、その計測結果と露光装置のステージ精度を比較し、計測結果がステージ精度以下の時のパラメータを最適パラメータ候補として記憶し、複数の最適パラメータ候補の中から最も計測精度が良い結果が得られるパラメータを選択し、実際の重ね合わせ検査測定を行う。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

露光レイヤー間の露光状態の相対位置ずれ量を、重ね合わせ検査マークを用いて計測する重ね合わせ検査装置において、事前に互いに異なる複数の測定パラメータを用いてウエハ上の重ね合わせ検査マークに対する重ね合わせ測定を行い、その互いに異なる複数の測定パラメータ毎に測定結果と、露光装置のステージ精度に基づく評価値を比較し、前記測定結果が評価値以下の時の測定パラメータを記憶装置に記憶し、実際に測定すべきウエハに対して重ね合わせ検査を行う時、前記記憶装置に記憶しておいた測定パラメータの中で最も良い測定結果を得ることができたパラメータを用いて重ね合わせ測定をする事を特徴とする重ね合わせ検査方法、及び装置。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G01B11/00 ,  H01L21/66

FI (5件)：

H01L21/30 520C ,  G01B11/00 C ,  H01L21/66 Y ,  H01L21/30 525W ,  H01L21/30 502V

Fターム (42件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065FF51 ,  2F065FF56 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG05 ,  2F065GG06 ,  2F065HH16 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL46 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  4M106AA01 ,  4M106AA07 ,  4M106BA04 ,  4M106CA50 ,  4M106DB02 ,  4M106DB07 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB16 ,  4M106DB18 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ04 ,  5F046DD06 ,  5F046EA04 ,  5F046EB01 ,  5F046EC05 ,  5F046FA10 ,  5F046FA17 ,  5F046FC03 ,  5F046FC04