特許
J-GLOBAL ID:200903086196511935

ダイヤモンドをコーティングした構造体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 敬 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-090958
公開番号(公開出願番号):特開平7-005304
出願日: 1994年04月28日
公開日(公表日): 1995年01月10日
要約:
【要約】【目的】 ダイヤモンド層と光学選択層の両層を含む光学窓を安定した品質で製造できる方法を提供する。【構成】 凹面を有するマンドレルを提供し、化学蒸着によって該凹面上にダイヤモンド皮膜を堆積させ、該ダイヤモンド皮膜上に光学選択性物質を堆積させ、その上に光学選択性物質を有するダイヤモンド皮膜を該マンドレルから取り外してダイヤモンドをコーティングした光学窓を製造する。好ましくは、化学蒸着によってダイヤモンド皮膜を堆積させる該過程は少なくとも850°Cの堆積表面温度の比較的高温のプロセスであり、光学選択性物質を堆積させる該過程は800°C未満の堆積表面温度の比較的低温のプロセスである。また、好ましくはダイヤモンド皮膜を堆積させる前に該凹面上に中間層を堆積させる過程をさらに含み、光学選択性物質は硫化亜鉛やセレン化亜鉛を使用する。
請求項(抜粋):
次の各過程を含んでなるダイヤモンドをコーティングした光学窓の製造方法:・凹面を有するマンドレルを提供し、・化学蒸着によって該凹面上にダイヤモンド皮膜を堆積させ、・該ダイヤモンド皮膜上に光学選択性物質を堆積させ、・その上に光学選択性物質を有するダイヤモンド皮膜を該マンドレルから取り外す。
IPC (4件):
G02B 5/00 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/44 ,  C30B 29/04

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