特許
J-GLOBAL ID:200903086199467627
クリーンルーム用空気調和機
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森 治 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-267951
公開番号(公開出願番号):特開平10-089743
出願日: 1996年09月17日
公開日(公表日): 1998年04月10日
要約:
【要約】【課題】 低圧測定用ピトー管の取付部周辺でエアーリークが発生することを防止することによって、HEPAフイルタによって濾過、清浄されていない空気がクリーンルーム内へ漏出しないようにしたクリーンルーム用空気調和機を提供する。【解決手段】 内部に送風機4、HEPAフイルタ7等を収納した空気調和機において、送風機4が設けられた送風機室3と送風機吹出室5の間に送風機隔壁13を、前記送風機吹出室5とHEPAフイルタ7を挟んで出口側に位置するフイルタ室8と送風機室3の間にフイルタ隔壁14をそれぞれ形成し、高圧測定用ピトー管11を送風機隔壁13を貫通して送風機吹出室5に開口するように設置するとともに、低圧測定用ピトー管12をフイルタ隔壁14を貫通してフイルタ室8に開口するように設置し、前記両ピトー管11、12を差圧検出装置に接続するようにしたことを特徴とする。
請求項(抜粋):
内部に送風機、HEPAフイルタ等を収納した空気調和機において、送風機が設けられた送風機室と送風機吹出室の間に送風機隔壁を、前記送風機吹出室とHEPAフイルタを挟んで出口側に位置するフイルタ室と送風機室の間にフイルタ隔壁をそれぞれ形成し、高圧測定用ピトー管を送風機隔壁を貫通して送風機吹出室に開口するように設置するとともに、低圧測定用ピトー管をフイルタ隔壁を貫通してフイルタ室に開口するように設置し、前記両ピトー管を差圧検出装置に接続するようにしたことを特徴とするクリーンルーム用空気調和機。
IPC (3件):
F24F 11/02
, B01D 46/42
, F24F 13/28
FI (3件):
F24F 11/02 M
, B01D 46/42 A
, F24F 1/00 371 A
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