ワークの厚さ測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：下田達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-203703
公開番号（公開出願番号）：特開平7-040233
出願日： 1993年07月27日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：

【要約】【構成】太陽歯車3及び内歯歯車4に噛合して遊星歯車状に駆動されるキャリヤ5にワーク6を保持させ、該ワーク6を上定盤1及び下定盤2により両側から挟んで研磨加工する平面研磨装置において、上下定盤1、2、太陽歯車3、内歯歯車4の駆動を停止させ、ワーク6を上下定盤1、2間に挟持させたままの状態で、2つのセンサ9の一方をワーク6上面、他方を下定盤2面、あるいはキャリヤ上面に接触させて、加工前後のセンサ9による測定差からワーク6の厚さを測定するようにしたワークの厚さ測定装置。【効果】簡単な構成で定盤の摩耗に左右されないワークの厚さ測定ができる。また、ワークの厚さ測定装置を待機位置へ回動させれば、そのまま加工を再開できる。

請求項（抜粋）：

太陽歯車及び内歯歯車に噛合して遊星歯車状に駆動されるキャリヤにワークを保持させ、該ワークを上定盤及び下定盤により両側から挟んで研磨加工する平面研磨装置において、上下定盤、太陽歯車、内歯歯車の駆動を停止させ、ワークを上下定盤間に挟持させたままの状態で、2つのセンサの一方をワーク上面、他方を下定盤面に接触させて、加工前後のセンサによる測定差からワークの厚さを測定するようにしたワークの厚さ測定装置。

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