特許
J-GLOBAL ID：200903086208791890
2軸角速度/加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271798
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128356
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 機構的に極く簡素でありながら、小型、軽量、安価、長寿命、高信頼性を示す2軸角速度/加速度センサを提供する。【構成】 2本のビーム41を有する捻れ式音叉型水晶振動子を構成する水晶薄板40の支持部42を、水晶薄板40より剛性が高くビームの振動を妨げない形状寸法を有する2本の溝部55および56を形成した水晶板50の2枚によりビームの振動を妨げない様に両側から挟み込み、2本のビーム41が2軸角速度/加速度により変位する量を検出する変位検出電極Cを2本のビーム41および2枚の水晶板40に独立して2組形成した可変静電容量型変位検出器を具備する2軸角速度/加速度センサ。
請求項（抜粋）：
2本のビームを有する捻れ式音叉型水晶振動子を構成する水晶薄板の支持部を、水晶薄板より剛性が高くビームの振動を妨げない形状寸法を有する2本の溝部を形成した水晶板2枚によりビームの振動を妨げない様に両側から挟み込み、2本のビームが2軸角速度/加速度により変位する量を検出する変位検出電極を2本のビームおよび2枚の水晶板に独立して2組形成した可変静電容量型変位検出器を具備することを特徴とする2軸角速度/加速度センサ。
IPC (2件)：
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